热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关？淀积速率的测量采用什么办法？
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