离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。
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