简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：问答题
简述沟道效应的含义及其对离子注入可能造成的影响如何避免？
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