制作钨塞的主要工艺步骤是：1、（）；2、（）；3、（）；4、磨抛钨。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：填空题
制作钨塞的主要工艺步骤是：1、（）；2、（）；3、（）；4、磨抛钨。
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