光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？_铁路车号员(长)_全学科试题题库

当前学科：铁路车号员(长)

题目：问答题
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？
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求洁净度等级为4级要求，粒径为1.0μm的粒子最大允许浓度为（）。

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