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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。
A . 正
B . 负
C . 中性
D . 以上答案都可以
答案：
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