物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
物理气相淀积最基本的两种方法是什么？简述这两种方法制备薄膜的过程。
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