在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。
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