在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
在刻蚀（）过程中假如我们在CF₅的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。
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