哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：多选
哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
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