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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
A . 单晶硅刻蚀
B . 多晶硅刻蚀
C . 二氧化硅刻蚀
D . 氮化硅刻蚀
答案:
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