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当前学科:集成电路工艺原理
题目:
问答题
采用提拉法(CZ法,切克劳斯基法)和区熔法制备的硅片,哪种方法质量更高,为什么?那么目前8英寸以上的硅片,经常选择哪种方式制备,为什么?
答案:
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