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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
下列几种氧化方法相比,哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些()。
A . 干氧氧化
B . 湿氧氧化
C . 水汽氧化
D . 与氧化方法无关
答案:
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