下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
下列几种氧化方法相比，哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些（）。
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