当热氧化的最初阶段，（）为限制反应速率的主要原因。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
当热氧化的最初阶段，（）为限制反应速率的主要原因。
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