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当前学科：集成电路工艺原理
题目：
判断题
与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。
A . 正确
B . 错误
答案：
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