离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。
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