微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：多选
微电子领域内，下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为（）。
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