（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
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