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常见问题
当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
A . 真空镀膜机
B . 真空镀膜室
C . 真空镀膜器
D . 真空镀膜仪
答案：
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