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常见问题
当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
多选
（）的方法有利于减少热预算。
A . 高压氧化
B . 湿氧氧化
C . 掺氯氧化
D . 氢氧合成氧化
E . 等离子增强氧化
答案：
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