集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。_微电子学_全学科试题题库

当前学科：微电子学

题目：填空题
集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。
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