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常见问题
当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
A . 隔挡气体交换
B . 控制蒸发的过程
C . 辅助热量交换
D . 温度调节
答案：
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