真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
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