简述非晶氢化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的优点及其制备工艺。_太阳能光伏发电技术_全学科试题题库

当前学科：太阳能光伏发电技术

题目：问答题
简述非晶氢化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的优点及其制备工艺。
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