为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。
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