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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
二氧化硅薄膜厚度的测量方法有()。
A . 比色法
B . 双光干涉法
C . 椭圆偏振光法
D . 腐蚀法
E . 电容-电压法
答案:
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