离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。
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