20世纪90年代初期使用的第一台CMP设备是用样片估计抛光时间来进行终点检测的。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
20世纪90年代初期使用的第一台CMP设备是用样片估计抛光时间来进行终点检测的。
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