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当前学科：半导体芯片制造高级工
题目：
单选
溅射法是由（）轰击靶材表面，使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。
A . 电子
B . 中性粒子
C . 带能离子
答案：
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