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当前学科:半导体芯片制造高级工
题目:
单选
溅射法是由()轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。
A . 电子
B . 中性粒子
C . 带能离子
答案:
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