化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：问答题
化学机械平坦化的工作机理是什么？与传统平坦化方法相比，它有哪些优点？
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