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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
在各种离子源常用的放电方式中,EOS是指有()。
A . 电子振荡放电
B . 离子自动放电
C . 低电压弧光放电
D . 双等离子电弧放电
答案:
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