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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
（）的气体源中一般包含H
+
，C
+
，B
+
，Cl
+
，O
+
等离子。
A . Cl
2
B . BCl
3
C . CO
2
D . H
2
答案：
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