下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：多选
下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。
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