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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
单选
（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。
A . 刻蚀速率
B . 刻蚀深度
C . 移除速率
D . 刻蚀时间
答案：
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