如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：单选
如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。
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