离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？_镀膜操作员_全学科试题题库

当前学科：镀膜操作员

题目：问答题
离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？
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