快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。
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