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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
多选
下列可作为磷扩散源的是()。
A . 磷钙玻璃
B . 三氯氧磷
C . 三氯化磷
D . 磷烷
E . 掺磷二氧化硅乳胶源
答案:
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