当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
  • 题目: 单选
    在将清洗完的硅片放进扩散炉扩散时,需要将硅片先装入(),然后再装入扩散炉。

      A . 耐热陶瓷器皿
      B . 金属器皿
      C . 石英舟
      D . 玻璃器皿

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