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当前学科：集成电路制造工艺员（三级）
题目：
多选
薄膜沉积的机构包括那些步骤（）。
A . 形成晶核
B . 晶粒成长
C . 晶粒凝结
D . 缝道填补
E . 沉积膜成长
答案：
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