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当前学科：集成电路工艺原理
题目：
判断题
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。
A . 正确
B . 错误
答案：
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