衬底清洗过程包括哪几个步骤？_半导体芯片制造中级工_全学科试题题库

当前学科：半导体芯片制造中级工

题目：问答题
衬底清洗过程包括哪几个步骤？
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制备硇砂宜采用的方法是（）

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