什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。_半导体制造技术_全学科试题题库

当前学科：半导体制造技术

题目：问答题
什么是溅射产额，其影响因素有哪些？简述这些因素对溅射产额产生的影响。
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