离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：多选
离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
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