高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。_集成电路工艺原理_全学科试题题库

当前学科：集成电路工艺原理

题目：判断题
高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。
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