集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。_微电子学_全学科试题题库

当前学科：微电子学

题目：填空题
集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。
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