下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有（）。_集成电路制造工艺员（三级）_全学科试题题库

当前学科：集成电路制造工艺员（三级）

题目：多选
下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有（）。
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