（）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。_半导体材料_全学科试题题库

当前学科：半导体材料

题目：单选
（）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。
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