哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。_半导体材料_全学科试题题库

当前学科：半导体材料

题目：问答题
哪种化学气体经常用来刻蚀多晶硅？描述刻蚀多晶硅的三个步骤。
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