在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有（）。_电化学工程_全学科试题题库

当前学科：电化学工程

题目：多选
在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有（）。
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