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当前学科：半导体芯片制造中级工
题目：
填空题
光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
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目前新兴工业化国家和地区的对外直接投资主要流向（）
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