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当前学科:集成电路制造工艺员(三级)
题目:
单选
在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在950~1100℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
A . 4~6h
B . 50min~2h
C . 10~40min
D . 5~10min
答案:
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